불산(Hydrofluoric acid) 또는 플루오린화 수소산, 불화수소산(弗化水素酸),불산(弗酸)은 산성 용액으로 존재한다. 플루오린화 수소(HF)의 수용액으로 약한 산성을 띤다. 불산(HF)과 질산(HNO3) 혼합액에 Si를 주입하여 에칭하는 할때 비산이 발생하고 불산과 질산을 혼합하는 실험은 가스가 많이 발생한다. 질산과 불산의 경우에는 TBP(Tri -butlyphosphate)이다. 3성분계 페혼산에는 초산, 질산 및 불산이 들어 있다.
불산(Hydrofluoric acid) 또는 플루오린화 수소산, 불화수소산(弗化水素酸),불산(弗酸)은 산성 용액으로 존재한다. 플루오린화 수소(HF)의 수용액으로 약한 산성을 띤다. 불산(HF)과 질산(HNO3) 혼합액에 Si를 주입하여 에칭하는 할때 비산이 발생하고 불산과 질산을 혼합하는 실험은 가스가 많이 발생한다. 질산과 불산의 경우에는 TBP(Tri -butlyphosphate)이다. 3성분계 페혼산에는 초산, 질산 및 불산이 들어 있다.