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  • EUV 노광
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  • 네덜란드 ASML사는 최근 삼성전자와 하이닉스로부터 세계 최초로 대당 1000억원을 호가하는 연구용 극자외선(EUV) 노광장비를 수주한 업체다. (2010년 8월 9일 관련업계에 따르면 삼성전자 · 하이닉스는 전 세계 반도체 업체 가운데 가장 먼저 연구용 극자외선(EUV) 노광장비를 세계 최대의 노광기 업체인 네덜란드 ASML에 발주한 것으로 확인됐다. 대당 1000억원을 호가한다. 삼성전자가 차세대 반도체의 핵심 공정기술인 극자외선(EUV) 노광장비를 오는 2012년까지 양산에 적용하겠다는 의사를 밝혔다. EUV 노광은 현 20나노급의 한계를 극복할 수 있는 가장 유력한 대안 기술로 꼽힌다. 2009년 3월 말 최은하교수팀은 세계에서 두번째로 고밀도 초고온 플라즈마 집속 방전을 이용한 EUV(Extreme Ultraviolet) 광원 발진에 성공했다고 밝혔다. 세계 최초로 성공한 곳은 미국의 인텔이당 호잇!! 분류:리소그라피
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  • 네덜란드 ASML사는 최근 삼성전자와 하이닉스로부터 세계 최초로 대당 1000억원을 호가하는 연구용 극자외선(EUV) 노광장비를 수주한 업체다. (2010년 8월 9일 관련업계에 따르면 삼성전자 · 하이닉스는 전 세계 반도체 업체 가운데 가장 먼저 연구용 극자외선(EUV) 노광장비를 세계 최대의 노광기 업체인 네덜란드 ASML에 발주한 것으로 확인됐다. 대당 1000억원을 호가한다. 삼성전자가 차세대 반도체의 핵심 공정기술인 극자외선(EUV) 노광장비를 오는 2012년까지 양산에 적용하겠다는 의사를 밝혔다. EUV 노광은 현 20나노급의 한계를 극복할 수 있는 가장 유력한 대안 기술로 꼽힌다. 2009년 3월 말 최은하교수팀은 세계에서 두번째로 고밀도 초고온 플라즈마 집속 방전을 이용한 EUV(Extreme Ultraviolet) 광원 발진에 성공했다고 밝혔다. 세계 최초로 성공한 곳은 미국의 인텔이당 호잇!! 분류:리소그라피
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