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| - ZnO 박막 가시광선 영역대인 400 nm 이상의 파장에서 90 %이상의 투과율을 보였으며 이는 ZnO박막이 투명 박막 소자의 요건을 갖추고 있다. 산화물 ZnO는 hexagonal wurtzite 결정 구조를 가지며 약 3.3eV의 넓은 광학적 밴드갭을 가지는 반도체 물질이다. ZnO 박막은 아주 강한 압전성과 피에조 광학(piezo-optic) 효과를 가지고 있어서 벌크 음향파동(Bulk acoustic wave), 음향광학(acoustic-optic) 소자 등으로 사용된다. 또한 자외선 및 적외선의 반사율이 높은 에너지 절약형 창유리 코팅재료, 태양전지, 환원가스검출센서 등 그 응용범위가 매우 광범위 하다. ZnO 박막은 스퍼터링(sputtering), 스프레이(spray pyrolysis), 메탈오거닉(metalorganic), 졸겔(sol-gel)과 같은 여러 가지 방법으로 제작될 수 있는데 특히 졸겔(sol-gel)법을 이용한 ZnO박막은 낮은 공정 온도와 졸의 우수한 화학적 균질성, 유동성, 겔화 특성, 겔의 높은 반응성 및 고순도의 생성물을 얻을 수 있는 드의 장점을 지니고 있다. 분류:산화 아연 분류:박막 분류:트랜지스터 분류:투명 전극 분류:압전 분류:쥬노
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abstract
| - ZnO 박막 가시광선 영역대인 400 nm 이상의 파장에서 90 %이상의 투과율을 보였으며 이는 ZnO박막이 투명 박막 소자의 요건을 갖추고 있다. 산화물 ZnO는 hexagonal wurtzite 결정 구조를 가지며 약 3.3eV의 넓은 광학적 밴드갭을 가지는 반도체 물질이다. ZnO 박막은 아주 강한 압전성과 피에조 광학(piezo-optic) 효과를 가지고 있어서 벌크 음향파동(Bulk acoustic wave), 음향광학(acoustic-optic) 소자 등으로 사용된다. 또한 자외선 및 적외선의 반사율이 높은 에너지 절약형 창유리 코팅재료, 태양전지, 환원가스검출센서 등 그 응용범위가 매우 광범위 하다. ZnO 박막은 스퍼터링(sputtering), 스프레이(spray pyrolysis), 메탈오거닉(metalorganic), 졸겔(sol-gel)과 같은 여러 가지 방법으로 제작될 수 있는데 특히 졸겔(sol-gel)법을 이용한 ZnO박막은 낮은 공정 온도와 졸의 우수한 화학적 균질성, 유동성, 겔화 특성, 겔의 높은 반응성 및 고순도의 생성물을 얻을 수 있는 드의 장점을 지니고 있다. 분류:산화 아연 분류:박막 분류:트랜지스터 분류:투명 전극 분류:압전 분류:쥬노
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