About: dbkwik:resource/OI_Kkvj7h72FnFvGSVyMig==   Sponge Permalink

An Entity of Type : owl:Thing, within Data Space : 134.155.108.49:8890 associated with source dataset(s)

AttributesValues
rdfs:label
  • 감광제
rdfs:comment
  • 감광제[感光劑]는 감광약에 젤라틴이나 갖풀 따위를 섞어서 만든 약제이다. ArF감광제는 아르곤(Ar)과 플로라이드(F)의 화합물로 사진 공정에 필요한193nm의 빔을 발생시켜 최소 0.07미크론까지 초미세회로 선폭을 형성할 수 있다. 감광제가 도포된 기판에 혹백으로 칠을 구분한 필름을 밀착시켜 노광함으로써, 기판의 동박면에 필요한 패턴이 감광되도록 한다. 포토마스크를 통해 높은 밀도의 높은 자외선을 감광제에 노출한다. 감광제가 노출된 실리콘 산화막은 제거된다. 최초에 발표된 것은 알코을 용해성 나일론에 감광제로서 비스아크릴아미드를 첨가한 것이었다. 이것은 현상에 알코올을 사용하는 결점이있었다 분류:리소그라피
dcterms:subject
abstract
  • 감광제[感光劑]는 감광약에 젤라틴이나 갖풀 따위를 섞어서 만든 약제이다. ArF감광제는 아르곤(Ar)과 플로라이드(F)의 화합물로 사진 공정에 필요한193nm의 빔을 발생시켜 최소 0.07미크론까지 초미세회로 선폭을 형성할 수 있다. 감광제가 도포된 기판에 혹백으로 칠을 구분한 필름을 밀착시켜 노광함으로써, 기판의 동박면에 필요한 패턴이 감광되도록 한다. 포토마스크를 통해 높은 밀도의 높은 자외선을 감광제에 노출한다. 감광제가 노출된 실리콘 산화막은 제거된다. 최초에 발표된 것은 알코을 용해성 나일론에 감광제로서 비스아크릴아미드를 첨가한 것이었다. 이것은 현상에 알코올을 사용하는 결점이있었다 분류:리소그라피
Alternative Linked Data Views: ODE     Raw Data in: CXML | CSV | RDF ( N-Triples N3/Turtle JSON XML ) | OData ( Atom JSON ) | Microdata ( JSON HTML) | JSON-LD    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3217, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Standard Edition
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2012 OpenLink Software