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  • 액침 렌즈
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  • 액침 렌즈(Immersion Lens)로는 기름 액침 렌즈와 고체 액침 렌즈가 알려져 있다. 어떤 현미경에는 주문 제작된 액침 렌즈가 들어있는데, 개구수는 0.9이고 초점거리는 0.7 mm, 작동거리는 0.7mm이다. 전사 패턴의 하프 피치가 65nm를 밑돌게 됨으로써 액침 노광 기술이 양산에 도입되었다. 액침 노광이란 노광 장치의 렌즈와 웨이퍼의 사이에 순수(純水)를 침투시켜 빛에 대한 굴절률을 높이는 것에 의하여 해상도를 높이는 것이다. XT 1900i는 렌즈와 웨이퍼 사이에 물과 같은 액체를 투과해 해상도를 높이고 칩의 고집적화를 향상시키는 액침 방식을 이용한 제5세대 리소그래피 장비다. 이 프로세스는 리소그래픽 렌즈와 투명 액체를 결합해서 더 높은 분해능의 광을 유지함으로써 더 소형의 더 고밀도의 디바이스를 가능하게 한다. 액침 기술로 인해 hp(half-pinch, 회로선폭)를 45㎚까지 할 수 있게 됨에 따라 F2 레이저 기술의 존재 가치가 제거됐다.
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  • 액침 렌즈(Immersion Lens)로는 기름 액침 렌즈와 고체 액침 렌즈가 알려져 있다. 어떤 현미경에는 주문 제작된 액침 렌즈가 들어있는데, 개구수는 0.9이고 초점거리는 0.7 mm, 작동거리는 0.7mm이다. 전사 패턴의 하프 피치가 65nm를 밑돌게 됨으로써 액침 노광 기술이 양산에 도입되었다. 액침 노광이란 노광 장치의 렌즈와 웨이퍼의 사이에 순수(純水)를 침투시켜 빛에 대한 굴절률을 높이는 것에 의하여 해상도를 높이는 것이다. XT 1900i는 렌즈와 웨이퍼 사이에 물과 같은 액체를 투과해 해상도를 높이고 칩의 고집적화를 향상시키는 액침 방식을 이용한 제5세대 리소그래피 장비다. 이 프로세스는 리소그래픽 렌즈와 투명 액체를 결합해서 더 높은 분해능의 광을 유지함으로써 더 소형의 더 고밀도의 디바이스를 가능하게 한다. 액침 기술로 인해 hp(half-pinch, 회로선폭)를 45㎚까지 할 수 있게 됨에 따라 F2 레이저 기술의 존재 가치가 제거됐다.
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