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  • 전자 렌즈
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  • 전자 렌즈(electron lens)는 전기장이나 자기장에 의하여 전자 빔을 집속 또는 발산시키는 장치를 말하며 전자 현미경에서 자기장형 전자 렌즈가 많이 쓰인다. 전자 렌즈 전자는 음전기를 가지는 입자이며, 전기장 이나 자기장 속에서는 그 진로가 변한다. 한 점에서 출발한 전자들을 다른 한 점으로 집속시키는 작용, 즉 렌즈를 만들 수 있다. 이와 같은 것을 전자렌즈라 하며, 전기장을 이용한 렌즈를 정전 렌즈(靜電), 자기장을 이용한 것을 자기장형 렌즈라고 한다. TEM은 고 에너지를 갖는 전자선이 전자 렌즈 계를 거쳐 시료를 통과하여 형광판에 상을 맺는 방식으로서 그 시료는 극히 얇아야 한다. 어두운 곳에서도 시료를 관찰할 수 있는 것은 물론, 전자가 빛보다파장이 짧고 전자렌즈가 전자기장을 이용해 전자이온빔을 흩어지지 않게 한 줄기로 모으는 덕분에 세포 핵 속을 관찰한다.
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  • 전자 렌즈(electron lens)는 전기장이나 자기장에 의하여 전자 빔을 집속 또는 발산시키는 장치를 말하며 전자 현미경에서 자기장형 전자 렌즈가 많이 쓰인다. 전자 렌즈 전자는 음전기를 가지는 입자이며, 전기장 이나 자기장 속에서는 그 진로가 변한다. 한 점에서 출발한 전자들을 다른 한 점으로 집속시키는 작용, 즉 렌즈를 만들 수 있다. 이와 같은 것을 전자렌즈라 하며, 전기장을 이용한 렌즈를 정전 렌즈(靜電), 자기장을 이용한 것을 자기장형 렌즈라고 한다. TEM은 고 에너지를 갖는 전자선이 전자 렌즈 계를 거쳐 시료를 통과하여 형광판에 상을 맺는 방식으로서 그 시료는 극히 얇아야 한다. 어두운 곳에서도 시료를 관찰할 수 있는 것은 물론, 전자가 빛보다파장이 짧고 전자렌즈가 전자기장을 이용해 전자이온빔을 흩어지지 않게 한 줄기로 모으는 덕분에 세포 핵 속을 관찰한다. 마이크로 컬럼은 차세대 리소그라피 기술의 하나로 마이크로 컬럼의 기능이 기존의 전자빔 컬럼을 능가하여 주목을 받는다. 초소형 전자빔 컬럼은 기존의 전자빔 컬럼과 비교하여 수차, 렌즈의 크기 및 원형에 성능이 보다 민감하게 반응하므로 정확한 정렬과 가공 기술은 초소형 전자빔 마이크로 컬럼의 성능에 매우 중요하다. 그러나, 기준치 piezoelectric transducer (PZT)나 scanning tunneling microscopy (STM)을 이용한 정렬 기술은 매우 복잡하고 어려운 단점이 있다. 전자기 렌즈(電磁氣, electromagnetic lens)는 적당한 형의 유전체나 평행 금속판을 마이크로파의 전파 통로에 설치하여 광학 렌즈와 같이 전자파를 집속하도록 한 장치다. 유전체 내를 진행하는 전파의 속도는 공기 중의 속도보다 느리고 일정한 간격의 평행 금속판을 지나는 전파의 속도는 공중에서의 속도보다 외견상 약간 빨라지는 것에 착안하여, 이들의 통로 차이를 적당히 유지하여 유전체 렌즈를 얻는다.
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