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| - 엑시머 레이저(excimer laser)는 여기 상태에 있는 원자와 기저 상태에 있는 원자가 만드는 엑시머라는 여기 상태의 분자가 빛을 내어 해리(解離) 상태로 돌아가는 것을 이용한 레이저이다. 단파장, 고출력, 고효율 등의 특징이 있다. 엑시머 레이저는 가스 레이저의 일종으로 희유가스(Kr, Ar, Xe) 와 염화수소(HCl) 또는 플루오르(F2) 혼합가스로 발생되며 혼합가스 종류에 따라 ArF(193 nm), KrF(248 nm), XeCl(308 nm) 등 자외선 영역의 파장을 가진 전자파다. 엑시머 레이저는 안구, 혈관 등 레이저 수술 및 메모리 chip 생산 등 반도체 산업에서 매우 중요하다. 엑시머는 excited dimer의 줄임말이다. 엑시머레이저를 이용한 시력교정술이 고안된 이후 많은 사람이 일명 ‘라식수술’을 통해 시력 개선을 하고 있다. 백반증의 초기에 백반이 몇개만 있을 경우 엑시며 레이저로 시술을 하기도 한다. 엑시머 레이져는 의료보험도 잘되지 않고 시술비도 한번에 수만원이 나 된다. 엑시머레이저는 백반증에 가장 효과적인 308mm파장의 광선을 해당 부위에 내리쬐는 치료법으로, 효과는 광선요법보다 3,4배 높다.
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| - 엑시머 레이저(excimer laser)는 여기 상태에 있는 원자와 기저 상태에 있는 원자가 만드는 엑시머라는 여기 상태의 분자가 빛을 내어 해리(解離) 상태로 돌아가는 것을 이용한 레이저이다. 단파장, 고출력, 고효율 등의 특징이 있다. 엑시머 레이저는 가스 레이저의 일종으로 희유가스(Kr, Ar, Xe) 와 염화수소(HCl) 또는 플루오르(F2) 혼합가스로 발생되며 혼합가스 종류에 따라 ArF(193 nm), KrF(248 nm), XeCl(308 nm) 등 자외선 영역의 파장을 가진 전자파다. 엑시머 레이저는 안구, 혈관 등 레이저 수술 및 메모리 chip 생산 등 반도체 산업에서 매우 중요하다. 엑시머는 excited dimer의 줄임말이다. 엑시머레이저를 이용한 시력교정술이 고안된 이후 많은 사람이 일명 ‘라식수술’을 통해 시력 개선을 하고 있다. 백반증의 초기에 백반이 몇개만 있을 경우 엑시며 레이저로 시술을 하기도 한다. 엑시머 레이져는 의료보험도 잘되지 않고 시술비도 한번에 수만원이 나 된다. 엑시머레이저는 백반증에 가장 효과적인 308mm파장의 광선을 해당 부위에 내리쬐는 치료법으로, 효과는 광선요법보다 3,4배 높다. 울트라 엑시머 레이저는 광선을 이용해 하얗게 된 튼 살에 색소를 생성, 살색으로 돌아오게 하는 방법으로 부작용이 없다. 반도체 노광 광원의 단파장화는 436nm(g선), 365nm(i선), 248nm(KrF 엑시마 레이저), 193nm(ArF 엑시마 레이저)로 진행되어 왔다. 반도체에서는 248nm 파장을 가지는 KrF 레이저와 193 nm ArF 레이저 같은 엑시머 레이저들을 사용한다. 130nm 이하에서는 리소그래피 광원이 명확하지 않다. 레이저 증착법은 엑시마 레이저(Exima Laser)를 초전도체 소결체 타깃에 조사하여 결정 배향한 중간층 위에 성막하는 방법이다. 광 CVD는 주로 레이저망을 사용, 재료가스를 분해하여 퇴적시키는 방법이다. 엑시마 레이저와 같은 단파장 레이저를 사용한 광분해방식과 CO레이저와 같은 장파장 레이저에 의한 열분해방식이 있다.
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