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Subject Item

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주사 전자 현미경

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주사 전자 현미경(Scanning Electron Microscope,SEM)은 광학 현미경과 유사하다. 주사 전자 현미경(SEM)은 광원과 수렴 렌즈, 대물 렌즈로 구성되며, 시료의 표면에서 반사된 빛을 사용하여 영상을 만드는 전체적인 구성은 광학 현미경과 유사하다. 진공 장치와 전자 장치의 합친 장비라 잘못하면 일순간 영구손상으로 큰일나 버린다. SEM 이란 고진공중에 놓여진 시료표면을 1-100nm정도의 미세한전자선으로 x-y의 이차원방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 2차전자, 반사전자,투과전자, 가시광, 적외선, X선, 내부기전력등의 신호를 검출한다. 주사전자현미경은 크게 3개의 제품으로 나눌 수 있는데 FE-SEM(Field Emission SEM), Normal-SEM, Mini-SEM이다. 관찰대상에 전자선을 쏘여 시료에서 반사되어 나온 전자에서 얻어지는 상을 관찰하는 것이다. 주사전자현미경은 1938년 Von Arddenne에 의해 만들어졌다. 첫번째 주사 전자 현미경은 1942년 Zworykin et al. 에 의해서 개발되었다.

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주사 전자 현미경(Scanning Electron Microscope,SEM)은 광학 현미경과 유사하다. 주사 전자 현미경(SEM)은 광원과 수렴 렌즈, 대물 렌즈로 구성되며, 시료의 표면에서 반사된 빛을 사용하여 영상을 만드는 전체적인 구성은 광학 현미경과 유사하다. 진공 장치와 전자 장치의 합친 장비라 잘못하면 일순간 영구손상으로 큰일나 버린다. SEM 이란 고진공중에 놓여진 시료표면을 1-100nm정도의 미세한전자선으로 x-y의 이차원방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 2차전자, 반사전자,투과전자, 가시광, 적외선, X선, 내부기전력등의 신호를 검출한다. 주사전자현미경은 크게 3개의 제품으로 나눌 수 있는데 FE-SEM(Field Emission SEM), Normal-SEM, Mini-SEM이다. 관찰대상에 전자선을 쏘여 시료에서 반사되어 나온 전자에서 얻어지는 상을 관찰하는 것이다. 주사전자현미경은 1938년 Von Arddenne에 의해 만들어졌다. 첫번째 주사 전자 현미경은 1942년 Zworykin et al. 에 의해서 개발되었다.